PWA是一種白色的煅燒氧化鋁磨料粉末,由片狀氧化鋁(Al2O3)晶體組成,純度超過99.0%。並且可以透過調整合成方法來調整粒子的直徑與厚度的比值。研磨半導體晶片或其他微電子元件不易產生刮痕。
化學成分
化學 | 保證價值 | 典型值 |
氧化鋁 | ≥99.0% | 99.36% |
二氧化矽 | <0.2% | 0.017% |
氧化鐵 | <0.1% | 0.03% |
氧化鈉 | <0.6% | 0.35% |
物理性質
材料 | 氧化鋁 |
顏色 | 白色的 |
比重 | ≥3.9克/立方厘米 |
摩氏硬度 | 9.0 |
類型 | D3(微米) | D50(一個) | D94(微米) |
CA45 | 50.5-56.2 | 33-38.5 | 20.7-24.5 |
CA40 | 39-44.6 | 27.7-31.7 | 18-20 |
CA35 | 35.4-39.8 | 23.8-27.2 | 15-17 |
CA30 | 28.1-32.3 | 19.2-22.3 | 13.4-15.6 |
CA25 | 24.4-28.2 | 16.1-18.7 | 9.6-11.2 |
CA20 | 20.9-24.1 | 13.1-15.3 | 8.2-9.8 |
CA15 | 14.8-17.2 | 9.4-11 | 5.8-6.8 |
糖基12 | 11.8-13.8 | 7.6-8.8 | 4.5-5.3 |
CA09 | 8.9-10.5 | 5.9-6.9 | 3.3-3.9 |
CA05 | 6.6-7.8 | 4.3-5.1 | 2.55-3.05 |
CA03 | 4.8-5.6 | 2.8-3.4 | 1.5-2.1 |
應用:
1)電子工業:半導體單晶矽片、石英石英晶體、化合物半導體(結晶鎵、磷化奈米)的研磨拋光。
2)玻璃工業:水晶、石英玻璃、顯像管玻璃殼屏、光學玻璃、液晶顯示器(LCD)玻璃基板、石英晶體的研磨加工。
3)塗料工業:等離子噴塗專用塗料、填料。
4)金屬、陶瓷加工產業:精密陶瓷材料、燒結陶瓷原料、高級高溫塗料等。
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