半導體拋光用片狀氧化鋁粉

生產的氧化鋁拋光粉的晶體形狀為六方扁平狀板狀,故稱為板狀剛玉或板狀剛玉。

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板燒氧化鋁拋光粉是以優質工業氧化鋁粉為原料,經特殊生產製程加工而成。生產的氧化鋁拋光粉的晶體形狀為六方扁平狀板狀,故稱為板狀剛玉或板狀剛玉。

對於半導體矽片等半導體材料,板狀氧化鋁的應用可以減少研磨時間,大大提高研磨效率,減少研磨機的損耗,節省人工和研磨成本,並提高研磨合格率。

化學成分

化學 保證價值 典型值
三氧化二鋁 ≥99.0% 99.36%
二氧化矽 <0.2% 0.017%
三氧化二鐵 <0.1% 0.03%
氧化鈉 <0.6% 0.35%

 

物理特性

材料 α-Al2O3
顏色 白色的
比重 ≥3.9克/立方厘米
莫氏硬度 9.0
類型 D3(嗯) D50(一個) D94(左右)
CA45 50.5-56.2 33-38.5 20.7-24.5
CA40 39-44.6 27.7-31.7 18-20日
CA35 35.4-39.8 23.8-27.2 15-17日
CA30 28.1-32.3 19.2-22.3 13.4-15.6
CA25 24.4-28.2 16.1-18.7 9.6-11.2
CA20 20.9-24.1 13.1-15.3 8.2-9.8
CA15 14.8-17.2 9.4-11 5.8-6.8
CA12 11.8-13.8 7.6-8.8 4.5-5.3
CA09 8.9-10.5 5.9-6.9 3.3-3.9
CA05 6.6-7.8 4.3-5.1 2.55-3.05
CA03 4.8-5.6 2.8-3.4 1.5-2.1

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